报告时间：2025年4月14日（星期一）9:00
报告地点：学术会议中心二楼报告厅
报 告 人：张海林 高级工程师
工作单位：深圳市汇川技术股份有限公司
举办单位：电气与自动化工程学院
报告简介：
精密运动台作为光刻机、检测与量测设备等半导体前道制程关键装备的核心子系统，其运动性能直接决定了晶圆加工良率、加工精度和产品率等。报告聚焦精密运动台中的高精度功率放大器，分析了半导体精密运动台对其的要求以及性能相互影响机理，对高精度应用中的电路拓扑、非线性抑制等相关技术的发展进行了介绍，并展望了未来高精度功率放大器的技术发展趋势。
报告人简介：
张海林，深圳市汇川技术股份有限公司研发专家，高级工程师，深圳市高层次人才。主要从事半导体精密伺服、磁悬浮技术、高速电机驱动等领域的技术研究及产业化工作。先后主持国家重点研发计划课题，国家自然科学基金等项目，参与国家科技重大专项02专项，累计发表国内外学术论文50余篇，获中国发明专利授权10余项。